Hochauflösendes telezentrisches F-Theta-Scanobjektiv für UV-Laser-Mikrobearbeitung und Halbleiteranwendungen

Telezentrisches F-Theta-Scan-Objektiv aus Quarzglas

Das telezentrische F-Theta-Scan-Objektiv ist ein spezielles Linsensystem, mit dem der abgelenkte, nicht axial verlaufende Laserstrahl – ähnlich wie der axial verlaufende Fokussierstrahl – senkrecht auf das Werkstück fokussiert werden kann. Der Vorteil des telezentrischen Scan-Objektivs liegt in der minimalen Feldkrümmung bei gleichzeitig hervorragender Spotqualität im gesamten Scanfeld. Für Hochleistungslaser und ultraschnelle Laserquellen bieten wir die telezentrische F-Theta-Scan-Linse der TSL-Q-Serie an, um thermische Linseneffekte und Fokusverschiebungen zu minimieren.

• Teilenummer: TSL-355-50-103Q
• EFL (mm): 103,0
• Scanfeld (mm): 50×50
• Eingangsstrahl Φ (1/e²) (mm): 9,0
• Gewinde: M85x1
• WD (mm): 137,4
• Fensterdurchmesser × Dicke (mm): 80 × 2